사물인터넷(IoT)의 핵심 기술인 미세전자기계시스템(MEMS) 센서 관련 특허출원이 활발하다.

특허청이 25일 발표한 'MEMS 특허출원 동향'에 따르면 최근 5년(2012~2016년) 동안 MEMS 특허출원건은 총 259건으로 2012년 41건에서 2014년 56건, 2016년 61건 등 빠르게 증가하는 추세를 보였다.

MEMS 센서가 기존의 기계식 센서와 비교해 차세대 스마트기기에 요구되는 저가격·소형화·고효율·고신뢰성을 만족시키고, IoT 시대를 맞아 활용 분야가 더욱 확대되고 있기 때문으로 풀이된다.

MEMS는 반도체 제조 공정의 미세가공 기술을 응용해 제조한 마이크로미터 또는 나노 단위 의 고감도 센서다. 모션센서, 환경센서, 음향센서 등 종류가 다양하다.

센서는 IoT의 근간을 이루는 사물이 서로 대화할 수 있도록 사람의 눈, 코, 귀, 혀, 피부와 같은 감각 기관 역할을 하는 IoT의 핵심 기술로 꼽힌다. 그동안 MEMS 센서 분야는 기술 난도가 높아서 개인이 쉽게 접근할 수 없는 기술 분야로 여겨져 왔다.

최근 5년 동안 출원 비중이 가장 높은 기관은 국내 대학 산학협력단으로, 전체의 18%(46건)를 차지했다. 그 뒤를 대기업 15%(40건), 정부출연연구기관 8%(21건) 등 순으로 나타났다.

기업 가운데에는 삼성전기가 17건으로 가장 많은 가운데 LG이노텍 9건, 현대차 7건, SK 3건, 삼성전자 2건, LG전자 1건 등으로 나타났다.

반도체 시장 조사기관인 IC 인사이츠의 보고서에 따르면 MEMS 기반의 센서 시장 규모는 글로벌 경기 침체 등으로 인해 2011년부터 지난해까지 1% 성장에 그쳤지만 내년에는 12억2000만달러 규모로 늘어날 것으로 전망됐다.

박시영 특허청 정밀부품심사과장은 “우리나라는 세계 1위의 반도체 및 휴대폰 제조업체를 보유하고 있음에도 MEMS 센서의 국산화 비율이 매우 저조하다”면서 “4차 산업혁명 시대에 주도권을 선점하기 위해서는 MEMS를 활용한 첨단 복합센서의 기술 개발 및 원천 특허 확보가 필요하다”고 말했다.

대전=신선미기자 smshin@etnews.com